特种气体硅烷系统设计室外分配系统要求： 1、硅烷分配系统的设计是一个带有遥控的自动化的外部钢瓶并联或配送架系统。 手动系统需要进行安全操作的评估， 对于硅烷系统应该考虑自动遥控操作。 遥控操作的目的是在流程开始期间确保人员不会有暴露于硅烷的可能。 还可以通过使用视频监视器来获得遥控能力。按照当地的建筑物和火灾规定，配送系统应该坐落于远离建筑物、 街道和地界线的隔离区域。 在装置的两边可以使用防火墙。 防火墙还要允许装置周围的通风，提供一些额外的暴露保护。配送系统的上方应 该有屋顶或遮蓬；但是必须采取措施，防止在发生泄露时限制硅烷。要通过使用铁丝网或类似的障碍物来保护储存和配送区域，限制人员接近。受保护区域要满足所有的生命安全法规对出口的要求。应该监测该区域，使用氢化物监视器来探 测泄露和排放，使用紫外/红外监视器来检测起火。两个监视器应该互锁（失败安全） ，在监测到泄露或起火时切断硅烷气流。监测系统应该配备有备用或紧急 电源。 必须有遥控紧急切断装置来在源头处切断硅烷气流。喷淋系统或消防用水只能用来冷却钢瓶，不能用来灭火。 2、气体管道的管道系统是316或316L无缝不锈钢，具有焊接结构，额定压力为运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到额定压力之间用氦检漏。系统应该全部是焊接的；但是，由于维护和替换系统组件的需要，可以使用适当安装的机械装置。 应该把机械装置保持在小的数量，而且不应用在它们会受到旋转或震动力的地方。 应该周期性地和在任何一次对它们进行操作之后对这些装置检漏。 在控制板和使用点之间的配送管道应该是带有内层空间监控的双层管道。在硅烷系统和氧化剂之间不能有任何互相连接的管道。 3、 不允许在含有硅烷的系统上使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。 在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关， 以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。 4、推荐的调整器是带有不锈钢横膈膜的横膈膜调整器。所有调整器都应该配备一个带罩的通风孔， 通风孔要能够经受住横膈膜破裂，把逸出气体排放到合适的安全的区域。 5、推荐的钢瓶应该用钢制成，钢瓶阀门应该有一个流量限制孔，孔的直径为 0.010 英寸。不锈钢瓶使用 DISS 接头，但也可以用CGA350 。钢瓶上要显示出安装了流量限制孔。对于遥控操作，推荐使用气动钢瓶阀或钢瓶阀控制器。 气动阀门或阀门控制器应当是有故障则关闭的设计。 钢瓶阀门和挠性阀门控制器应当是有故障则关闭的设计。 在连接到系统之前，应当总是用眼睛检查钢瓶阀门和挠性阀门控制器是否有泄露或缺陷的迹象。应当根据使用的钢瓶阀门的类型， 遵守被推荐的特殊的开启程序，慢慢地开启阀门。 6、在室外配送系统上，应当用不可燃隔离物把钢瓶彼此隔离开。隔离物应该在钢瓶阀门下面， 从控制板顶部伸出来18英寸。使用的钢瓶数量要控制在运转所需的小数目。 7、在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。 8、每次更换钢瓶之后，要对系统检漏。方法是使用惰性气体的高压保持检测和或使用氦混合物作为净化源的外部氦检漏。 在钢瓶接头处或任何接头的完整性值得怀疑的地方，还可以用手持式电子探测器来检测是否存在硅烷泄露。 9、净化应当使用专用的惰性气体钢瓶。每一个净化气体钢瓶系统都要配备合适 的调整器、减压装置和低压报警器。在可能的地方，净化气体钢瓶的压力要维持 在高于硅烷钢瓶压力的水平上。 应当备有多余的止回阀，以防止净化气体钢瓶对过程气体的污染； 还应当有一个额外的隔离阀作为重复的保护。室内氮气系统不能用作净化源。 除非得到了你的钢瓶气体供应商的明确指示，不要返还可能已污 染的净化气体钢瓶。 如果怀疑硅烷回流入氮气系统，应当将其视作含有硅烷的系统。对于并联排气，应当使用硅烷和硅烷混合物专用真空源（泵或文氏管），而 不是“室内”真空系统。 10、 硅烷和硅烷混合物排气系统应该独立于其它气体排气系统。由于存在通过系 统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。应当检测和互锁该气流，以防止在排气系统没有工作的情况下的排气。 硅烷排气系统应该或者终止于一个废气处理系统，或者在一个安全的区域直接排到户外。对于硅烷混合物，所需要的废气处理将随混合物中存在的其它气体的不同而变化。废气排放应当遵守所有的联邦、州 和当地的法规。